PHYSICS BASED FULL-CHIP SCALE MODELING OF COPPER ELECTROCHEMICAL DEPOSITION

R. Ghulghazaryan; N. Khachartyan; V. Sukharev

Ներբեռնել

Վերնագիր: PHYSICS BASED FULL-CHIP SCALE MODELING OF COPPER ELECTROCHEMICAL DEPOSITION

Հատոր:

Համար:

ISSN:

1829-1171

Պաշտոնական URL:

Ծածկոյթ:

169-173

Ամփոփում:

Full-chip multi-scale physics based pattern dependent copper electrochemical deposition models are considered.

Բովանդակութիւն:

Հրատարակութեան վայրը:

Թուայնացման հովանաւորը:

Ստեղծման ամսաթիւը:

2008-08-27

Ձեւաչափ:

pdf

Նոյնացուցիչ:

oai:arar.sci.am:23195

Բնօրինակին գտնուելու վայրը:

ՀՀ ԳԱԱ Հիմնարար գիտական գրադարան

Խորագիր և բանալի բառեր:

Physics Materials science

Նիւթին հաւաքածոները:

Digital Library > Յօդուածներ

Վերջին անգամ ձեւափոխուած է:

Dec 13, 2023

Մեր գրադարանին մէջ է սկսեալ:

Feb 27, 2020

Նիւթին բովանդակութեան հարուածներուն քանակը:

Նիւթին բոլոր հասանելի տարբերակները:

https://arar.sci.am/publication/25897

Ցոյց տուր նկարագրութիւնը RDF ձեւաչափով:

RDF

Ցոյց տուր նկարագրութիւնը OAI-PMH ձեւաչափով։

OAI-PMH

Armenian Journal of Physics=Ֆիզիկայի հայկական հանդես

Հրատարակութեան անունը	Թուական
PHYSICS BASED FULL-CHIP SCALE MODELING OF COPPER ELECTROCHEMICAL DEPOSITION	Dec 13, 2023

Նիւթ

Վերնագիր: PHYSICS BASED FULL-CHIP SCALE MODELING OF COPPER ELECTROCHEMICAL DEPOSITION

Ստեղծողը:

Տեսակ:

Հրապարակման մանրամասներ:

Ամսագրի կամ հրապարակման վերնագիր:

Հրապարակման ամսաթիւ:

Հատոր:

Համար:

ISSN:

Պաշտոնական URL:

Ծածկոյթ:

Ամփոփում:

Բովանդակութիւն:

Հրատարակութեան վայրը:

Թուայնացման հովանաւորը:

Ստեղծման ամսաթիւը:

Ձեւաչափ:

Նոյնացուցիչ:

Բնօրինակին գտնուելու վայրը:

Խորագիր և բանալի բառեր:

Նիւթին հաւաքածոները:

Վերջին անգամ ձեւափոխուած է:

Մեր գրադարանին մէջ է սկսեալ:

Նիւթին բովանդակութեան հարուածներուն քանակը:

Նիւթին բոլոր հասանելի տարբերակները:

Ցոյց տուր նկարագրութիւնը RDF ձեւաչափով:

Ցոյց տուր նկարագրութիւնը OAI-PMH ձեւաչափով։

Օբյեկտի տեսակ՝

Նման

Կապին մանրամասները

Հասցէ

Հեռաձայն

Ել-նամակ

Այցելեցէք մեզ։