PHYSICS BASED FULL-CHIP SCALE MODELING OF COPPER ELECTROCHEMICAL DEPOSITION

R. Ghulghazaryan; N. Khachartyan; V. Sukharev

Download

Title: PHYSICS BASED FULL-CHIP SCALE MODELING OF COPPER ELECTROCHEMICAL DEPOSITION

Հատոր:

Համար:

ISSN:

1829-1171

Պաշտոնական URL:

Ծածկոյթ:

169-173

Ամփոփում:

Full-chip multi-scale physics based pattern dependent copper electrochemical deposition models are considered.

Բովանդակութիւն:

Հրատարակութեան վայրը:

Թուայնացման հովանաւորը:

Ստեղծման ամսաթիւը:

2008-08-27

Ձեւաչափ:

pdf

Նոյնացուցիչ:

oai:arar.sci.am:23195

Բնօրինակին գտնուելու վայրը:

ՀՀ ԳԱԱ Հիմնարար գիտական գրադարան

Subject and keywords:

Physics Materials science

Object collections:

Digital Library > Յօդուածներ

Last modified:

Dec 13, 2023

In our library since:

Feb 27, 2020

Number of object content hits:

All available object's versions:

https://arar.sci.am/publication/25897

Show description in RDF format:

RDF

Show description in OAI-PMH format:

OAI-PMH

Armenian Journal of Physics=Ֆիզիկայի հայկական հանդես

Edition name	Date
PHYSICS BASED FULL-CHIP SCALE MODELING OF COPPER ELECTROCHEMICAL DEPOSITION	Dec 13, 2023

Object

Title: PHYSICS BASED FULL-CHIP SCALE MODELING OF COPPER ELECTROCHEMICAL DEPOSITION

Ստեղծողը:

Տեսակ:

Հրապարակման մանրամասներ:

Ամսագրի կամ հրապարակման վերնագիր:

Հրապարակման ամսաթիւ:

Հատոր:

Համար:

ISSN:

Պաշտոնական URL:

Ծածկոյթ:

Ամփոփում:

Բովանդակութիւն:

Հրատարակութեան վայրը:

Թուայնացման հովանաւորը:

Ստեղծման ամսաթիւը:

Ձեւաչափ:

Նոյնացուցիչ:

Բնօրինակին գտնուելու վայրը:

Subject and keywords:

Object collections:

Last modified:

In our library since:

Number of object content hits:

All available object's versions:

Show description in RDF format:

Show description in OAI-PMH format:

Objects

Similar

Contact details

Address

Phone

E-Mail

Visit us!