Հրապարակման մանրամասներ:

Established in 2008

Ամսագրի կամ հրապարակման վերնագիր:

Armenian Journal of Physics=Ֆիզիկայի հայկական հանդես

Հրապարակման ամսաթիվ:

2008

Հատոր:

1

Համար:

2

ISSN:

1829-1171

Պաշտոնական URL:

Վերնագիր:

PHYSICS BASED FULL-CHIP SCALE MODELING OF COPPER ELECTROCHEMICAL DEPOSITION

Ստեղծողը:

R. Ghulghazaryan ; N. Khachartyan ; V. Sukharev

Խորագիր:

Physics ; Materials science

Ծածկույթ:

169-173

Ամփոփում:

Full-chip multi-scale physics based pattern dependent copper electrochemical deposition models are considered.

Բովանդակություն:

Հրատարակության վայրը:

Թվայնացման հովանավորը:

Ստեղծման ամսաթիվը:

2008-08-27

Տեսակ:

Հոդված

Ձևաչափ:

pdf

Բնօրինակի գտնվելու վայրը:

ՀՀ ԳԱԱ Հիմնարար գիտական գրադարան