Նիւթ

Վերնագիր: On the Method of Monitoring and Optimal Control of RF-Plasma

Publication Details:

Established in 2008

Journal or Publication Title:

Armenian Journal of Physics=Ֆիզիկայի հայկական հանդես

Date of publication:

2015

Volume:

8

Number:

1

ISSN:

1829-1171

Official URL:


Corporate Creators:

Institute of Radiophysics and Electronics of NAS RA

Coverage:

44-50

Abstract:

A new strategy of reaching efficient matched conditions at the maximum speed in RF power delivery systems for plasma processes is proposed and analyzed. Presented method incorporates unique properties of high speed, automatic discrete matching networks, allowing creation of shortest trajectories and bypassing inhibited states of network parameters. The special matching network model is used to test optimal matching path finder method which allows to maximize the delivered power at the minimum time.

Date created:

2015-03-13

Format:

pdf

Identifier:

oai:arar.sci.am:23400

Location of original object:

ՀՀ ԳԱԱ Հիմնարար գիտական գրադարան

Նիւթին հաւաքածոները:

Վերջին անգամ ձեւափոխուած է:

Dec 13, 2023

Մեր գրադարանին մէջ է սկսեալ:

Feb 27, 2020

Նիւթին բովանդակութեան հարուածներուն քանակը:

22

Նիւթին բոլոր հասանելի տարբերակները:

https://arar.sci.am/publication/26147

Ցոյց տուր նկարագրութիւնը RDF ձեւաչափով:

RDF

Ցոյց տուր նկարագրութիւնը OAI-PMH ձեւաչափով։

OAI-PMH

Հրատարակութեան անունը Թուական
On the Method of Monitoring and Optimal Control of RF-Plasma Dec 13, 2023

Օբյեկտի տեսակ՝

Նման

Այս էջը կ'օգտագործէ 'cookie-ներ'։ Յաւելեալ տեղեկատուութիւն