On the Method of Monitoring and Optimal Control of RF-Plasma

Aghajanyan, A.; Hakhoumian, A. A.; N. Poghosyan; T. Poghosyan; T. Zakaryan

Download

Title: On the Method of Monitoring and Optimal Control of RF-Plasma

Հատոր:

Համար:

ISSN:

1829-1171

Պաշտոնական URL:

Համատեղ հեղինակները:

Institute of Radiophysics and Electronics of NAS RA

Ծածկույթ:

44-50

Ամփոփում:

A new strategy of reaching efficient matched conditions at the maximum speed in RF power delivery systems for plasma processes is proposed and analyzed. Presented method incorporates unique properties of high speed, automatic discrete matching networks, allowing creation of shortest trajectories and bypassing inhibited states of network parameters. The special matching network model is used to test optimal matching path finder method which allows to maximize the delivered power at the minimum time.

Ստեղծման ամսաթիվը:

2015-03-13

Ձևաչափ:

pdf

Նույնացուցիչ:

oai:arar.sci.am:23400

Բնօրինակի գտնվելու վայրը:

ՀՀ ԳԱԱ Հիմնարար գիտական գրադարան

Subject and keywords:

Physics Instruments, apparatus, components common to several branches of physics Electronics; radiowave and microwave technology; direct energy conversion and storage

Object collections:

Digital Library > Articles

Last modified:

Dec 13, 2023

In our library since:

Feb 27, 2020

Number of object content hits:

All available object's versions:

https://arar.sci.am/publication/26147

Show description in RDF format:

RDF

Show description in OAI-PMH format:

OAI-PMH

Armenian Journal of Physics=Ֆիզիկայի հայկական հանդես

Edition name	Date
On the Method of Monitoring and Optimal Control of RF-Plasma	Dec 13, 2023

Object

Title: On the Method of Monitoring and Optimal Control of RF-Plasma

Ստեղծողը:

Տեսակ:

Հրապարակման մանրամասներ:

Ամսագրի կամ հրապարակման վերնագիր:

Հրապարակման ամսաթիվ: