Publication Details:

Լույս է տեսնում 1966 թվականից՝ տարին 4 անգամ։

Journal or Publication Title:

ՀՀ ԳԱԱ Տեղեկագիր: Ֆիզիկա = Proceedings of the NAS RA: Physics

Date of publication:

2019

Volume:

54

Number:

1

ISSN:

0002-3035

Official URL:

Other title:

Ռադիոճառագայթմամբ ղեկավարվող «սառը» պլազմայի պարամետրերի ուսումնասիրումը ունակային կապով ռեակտորում; Investigation of RF Originated «Cold» Plasma Parameters in Capacitive Coupled Reactor

Contributor(s):

Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) ; Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) ; Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)

Coverage:

138-143

Abstract:

В настоящей статье рассмотрен плазменный реактор с емкостной связью, в котором ионизация молекул инертного газа осуществляется посредством радиочастотного излучения. Рассмотрена система управления и измерения электрических и оптических параметров плазмы. Приводится качественная оценка распределения энергии носителей заряда. This article describes a capacitive coupled plasma reactor, where the inert gas molecules are ionized by the radio frequency radiation. The control and measurement system of electrical and optical parameters of the plasma is considered. A qualitative estimation of the energy distribution of charges is proposed.

Publisher:

ՀՀ ԳԱԱ հրատ.

Date created:

2019-02-02

Format:

pdf

Identifier:

oai:arar.sci.am:134870

Call number:

АЖ 415

Location of original object:

ՀՀ ԳԱԱ Հիմնարար գիտական գրադարան