Լույս է տեսնում 1966 թվականից՝ տարին 4 անգամ։
ՀՀ ԳԱԱ Տեղեկագիր: Ֆիզիկա = Proceedings of the NAS RA: Physics
Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) ; Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) ; Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)
В настоящей статье рассмотрен плазменный реактор с емкостной связью, в котором ионизация молекул инертного газа осуществляется посредством радиочастотного излучения. Рассмотрена система управления и измерения электрических и оптических параметров плазмы. Приводится качественная оценка распределения энергии носителей заряда. This article describes a capacitive coupled plasma reactor, where the inert gas molecules are ionized by the radio frequency radiation. The control and measurement system of electrical and optical parameters of the plasma is considered. A qualitative estimation of the energy distribution of charges is proposed.
oai:arar.sci.am:134870
ՀՀ ԳԱԱ Հիմնարար գիտական գրադարան
May 5, 2025
Apr 21, 2020
19
https://arar.sci.am/publication/148252
Հրատարակության անուն | Ամսաթիվ |
---|---|
Исследование параметров управляемой радиоизлучением «холодной» плазмы в реакторе с емкостной связью | May 5, 2025 |
К. Б. Оганесян Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)
Г. Р. Бадальянц В. О. Папанян Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)
А. М. Резикян Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)
А. В. Акопян Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)
Г. В. Джандиери Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)
Э. А. Беглоян А. С. Галумян Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)
А. М. Резикян Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)
Ю. С. Варданян Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)