Publication Details:

Լույս է տեսնում 1966 թվականից՝ տարին 4 անգամ։

Journal or Publication Title:

ՀՀ ԳԱԱ Տեղեկագիր: Ֆիզիկա = Proceedings of the NAS RA: Physics

Date of publication:

2014

Volume:

49

Number:

4

ISSN:

0002-3035

Official URL:

Other title:

Նանոկոմպոզիտային գազային տվիչների ստատիկ և աղմկային բնութագրերը; Static and noise characteristics of nanocomposite gas sensors

Contributor(s):

Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) ; Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) ; Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)

Coverage:

241-251

Abstract:

Методoм магнетронного распыления изготовлены тонкослойные газовые сенсоры на основе нанокомпозита In2O3·Ga2O3·SnO2 (70:20:10). Описан технологический цикл изготовления сенсоров. Исследованы низкочастотные шумы сенсоров в диапазоне частот 1–300 Гц, а также их резистивная и шумовая чувствительности при температуре рабочего тела 250ºС. Բարձրհաճախային մագնետրոնային փոշեցրման եղանակով In2O3·Ga2O3·SnO2 (70:20:10) նանոկոմպոզիտի հիման վրա պատրաստված են բարակթաղանթային գազային սենսորներ: Նկարագրված է սենսորների պատրաստման տեխնոլոգիական եղանակը: Աշխատանքային մարմնի 250ºС ջերմաստիճանում հետազոտվել են սենսորների ռեզիստիվ և աղմկային զգայնությունները, ինչպես նաև դրանց ցածրհաճախային աղմուկները հաճախությունների 1–300 Հց տիրույթում: Thin film gas sensors made of nanocomposite In2O3·Ga2O3·SnO2 (70:20:10) have been manufactured by high-frequency magnetron sputtering method. The technological cycle of sensors manufacturing processes is described. Sensitivity of the prepared sensors at the temperature of working body 250ºС and low frequency noises within the 1–300 Hz range were investigated.

Publisher:

ՀՀ ԳԱԱ հրատ.

Date created:

2014-07-16

Format:

pdf

Identifier:

oai:arar.sci.am:134551

Call number:

АЖ 415

Location of original object:

ՀՀ ԳԱԱ Հիմնարար գիտական գրադարան