Р. В. Оганесян ; Г. Д. Хондкарян ; М. С. Алексанян ; В. М. Аракелян ; Б. О. Семерджян ; В. М. Арутюнян ; Ф. В. Гаспарян
Լույս է տեսնում 1966 թվականից՝ տարին 4 անգամ։
ՀՀ ԳԱԱ Տեղեկագիր: Ֆիզիկա = Proceedings of the NAS RA: Physics
Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) ; Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) ; Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)
Методoм магнетронного распыления изготовлены тонкослойные газовые сенсоры на основе нанокомпозита In2O3·Ga2O3·SnO2 (70:20:10). Описан технологический цикл изготовления сенсоров. Исследованы низкочастотные шумы сенсоров в диапазоне частот 1–300 Гц, а также их резистивная и шумовая чувствительности при температуре рабочего тела 250ºС. Բարձրհաճախային մագնետրոնային փոշեցրման եղանակով In2O3·Ga2O3·SnO2 (70:20:10) նանոկոմպոզիտի հիման վրա պատրաստված են բարակթաղանթային գազային սենսորներ: Նկարագրված է սենսորների պատրաստման տեխնոլոգիական եղանակը: Աշխատանքային մարմնի 250ºС ջերմաստիճանում հետազոտվել են սենսորների ռեզիստիվ և աղմկային զգայնությունները, ինչպես նաև դրանց ցածրհաճախային աղմուկները հաճախությունների 1–300 Հց տիրույթում: Thin film gas sensors made of nanocomposite In2O3·Ga2O3·SnO2 (70:20:10) have been manufactured by high-frequency magnetron sputtering method. The technological cycle of sensors manufacturing processes is described. Sensitivity of the prepared sensors at the temperature of working body 250ºС and low frequency noises within the 1–300 Hz range were investigated.
oai:arar.sci.am:134551
ՀՀ ԳԱԱ Հիմնարար գիտական գրադարան
May 5, 2025
Apr 21, 2020
27
https://arar.sci.am/publication/147900
Edition name | Date |
---|---|
Статические и шумовые характеристики нанокомпозитных газовых сенсоров | May 5, 2025 |
В. М. Аракелян М. С. Алексанян Р. В. Оганесян Г. Э. Шахназарян В. М. Арутюнян К. Эрнади З. Немет Л. Форро Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)
М. С. Алексанян В. М. Аракелян В. М. Арутюнян Г. Э. Шахназарян Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)
М. С. Алексанян В. М. Аракелян В. М. Арутюнян А. З. Адамян Г. Э. Шахназарян Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)
Ф. В. Гаспарян А. А. Аракелян Г. Д. Хондкарян Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)
Г. Д. Хондкарян Ф. В. Гаспарян Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)
В. М. Арутюнян Ф. В. Гаспарян С. В. Мелконян Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)
Ю. А. Абрамян В. М. Арутюнян Ф. В. Гаспарян Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)
В. М. Арутюнян Р. С. Барсегян Г. Е. Григорян Б. О. Семерджян Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)