Publication Details:
Լույս է տեսնում 1966 թվականից՝ տարին 4 անգամ։
Journal or Publication Title:
ՀՀ ԳԱԱ Տեղեկագիր: Ֆիզիկա = Proceedings of the NAS RA: Physics
Date of publication:
Volume:
Number:
ISSN:
Official URL:
Title:
Статические и шумовые характеристики нанокомпозитных газовых сенсоров
Other title:
Creator:
Р. В. Оганесян ; Г. Д. Хондкарян ; М. С. Алексанян ; В. М. Аракелян ; Б. О. Семерджян ; В. М. Арутюнян ; Ф. В. Гаспарян
Contributor(s):
Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) ; Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) ; Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)
Subject:
Physics ; Science ; Radiophysics
Uncontrolled Keywords:
Հովհաննիսյան Ռ. Վ. ; Խոնդկարյան Հ. Դ. ; Ալեքսանյան Մ. Ս. ; Առաքելյան Վ. Մ. ; Սեմերջյան Բ. Օ. ; Գասպարյան Ֆ. Վ. ; Հարությունյան Վ. Մ. ; Hovhannisyan R. V. ; Khondkaryan H. D. ; Aleksanyan M. S. ; Arakelyan V. M. ; Semerjyan B. O. ; Gasparyan F. V. ; Aroutiounian V. M.
Coverage:
Abstract:
Методoм магнетронного распыления изготовлены тонкослойные газовые сенсоры на основе нанокомпозита In2O3·Ga2O3·SnO2 (70:20:10). Описан технологический цикл изготовления сенсоров. Исследованы низкочастотные шумы сенсоров в диапазоне частот 1–300 Гц, а также их резистивная и шумовая чувствительности при температуре рабочего тела 250ºС. Բարձրհաճախային մագնետրոնային փոշեցրման եղանակով In2O3·Ga2O3·SnO2 (70:20:10) նանոկոմպոզիտի հիման վրա պատրաստված են բարակթաղանթային գազային սենսորներ: Նկարագրված է սենսորների պատրաստման տեխնոլոգիական եղանակը: Աշխատանքային մարմնի 250ºС ջերմաստիճանում հետազոտվել են սենսորների ռեզիստիվ և աղմկային զգայնությունները, ինչպես նաև դրանց ցածրհաճախային աղմուկները հաճախությունների 1–300 Հց տիրույթում: Thin film gas sensors made of nanocomposite In2O3·Ga2O3·SnO2 (70:20:10) have been manufactured by high-frequency magnetron sputtering method. The technological cycle of sensors manufacturing processes is described. Sensitivity of the prepared sensors at the temperature of working body 250ºС and low frequency noises within the 1–300 Hz range were investigated.