Газовый сенсор на основе наноразмерной пленки In2O3:Ga2O3

М. С. Алексанян; В. М. Аракелян; В. М. Арутюнян; А. З. Адамян; Г. Э. Шахназарян

Download

Title: Газовый сенсор на основе наноразмерной пленки In2O3:Ga2O3

Volume:

Number:

ISSN:

0002-3035

Official URL:

Other title:

Gas sensor based on nanosize In2O3:Ga2O3 film

Contributor(s):

Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) ; Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) ; Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)

Coverage:

447-455

Abstract:

Наноразмерные пленки In2O3:Ga2O3 (96:4 вес.%) были осаждены на ситалловую подложку методом высокочастотного магнетронного распыления. Поверхность изготовленных пленок исследована с помощью сканирующего электронного микроскопа, определены размеры зерен, измерена толщина пленок. In2O3:Ga2O3 (96:4 wt.%) nanosize films were deposited on glass-ceramic substrates by highfrequency magnetron sputtering. The surfaces of prepared films were investigated by scanning electron microscopy, the sizes of grains were determined, and the thicknesses of films were measured.