Физические характеристики пленок молибдена, осажденных на перлитовых стеклокерамических подложках методом магнетронного распыления

Л. А. Арутюнян; С. Г. Петросян; К. Э. Авджян

Физические характеристики пленок молибдена, осажденных на перлитовых стеклокерамических подложках методом магнетронного распыления

Download

Title: Физические характеристики пленок молибдена, осажденных на перлитовых стеклокерамических подложках методом магнетронного распыления

Հատոր:

Համար:

ISSN:

0002-3035

Պաշտոնական URL:

Այլ վերնագիր:

Physical characteristics of molybdenum films deposited by magnetron sputtering on perlite glass-ceramic substrates

Աջակից(ներ):

Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) ; Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) ; Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)

Ծածկույթ:

236-241

Ամփոփում:

Приведены результаты исследования физических характеристик пленок молибдена, осажденных с помощью магнетронного распыления на перлитовых стеклокерамических подложках в аргоновой среде. Установлено, что пленки, полученные при температуре подложки выше 250°C, обладают хорошей адгези-ей и характеризуются прочностью сцепления более 30 МПа. The results of the study of the physical characteristics of molybdenum films deposited by magnetron sputtering on perlite glass-ceramic substrates in an argon environment are presented. It is found that the films prepared at a substrate temperature higher than 250°C, have good adhesion and bonding strength characterized by more than 30 MPa.

Հրատարակիչ:

ՀՀ ԳԱԱ հրատ.

Ստեղծման ամսաթիվը:

2015-03-25

Ձևաչափ:

pdf

Նույնացուցիչ:

oai:arar.sci.am:134613

Դասիչ:

АЖ 415

Բնօրինակի գտնվելու վայրը:

ՀՀ ԳԱԱ Հիմնարար գիտական գրադարան

Subject and keywords:

Physics Science Electricity and magnetism Harutyunyan L. A. Petrosyan S. G. Avjyan K. E.

Object collections:

Digital Library > Յօդուածներ

Last modified:

May 5, 2025

In our library since:

Apr 21, 2020

Number of object content hits:

All available object's versions:

https://arar.sci.am/publication/147968

Show description in RDF format:

RDF

Show description in OAI-PMH format:

OAI-PMH

ՀՀ ԳԱԱ Տեղեկագիր: Ֆիզիկա = Proceedings of the NAS RA: Physics

Edition name	Date
Физические характеристики пленок молибдена, осажденных на перлитовых стеклокерамических подложках методом магнетронного распыления	May 5, 2025

Object

Title: Физические характеристики пленок молибдена, осажденных на перлитовых стеклокерамических подложках методом магнетронного распыления

Ստեղծողը:

Տեսակ:

Հրապարակման մանրամասներ:

Ամսագրի կամ հրապարակման վերնագիր:

Հրապարակման ամսաթիվ: