Object

Title: Физические характеристики пленок молибдена, осажденных на перлитовых стеклокерамических подложках методом магнетронного распыления

Publication Details:

Լույս է տեսնում 1966 թվականից՝ տարին 4 անգամ։

Journal or Publication Title:

ՀՀ ԳԱԱ Տեղեկագիր: Ֆիզիկա = Proceedings of the NAS RA: Physics

Date of publication:

2015

Volume:

50

Number:

2

ISSN:

0002-3035

Official URL:


Other title:

Physical characteristics of molybdenum films deposited by magnetron sputtering on perlite glass-ceramic substrates

Coverage:

236-241

Abstract:

Приведены результаты исследования физических характеристик пленок молибдена, осажденных с помощью магнетронного распыления на перлитовых стеклокерамических подложках в аргоновой среде. Установлено, что пленки, полученные при температуре подложки выше 250°C, обладают хорошей адгези-ей и характеризуются прочностью сцепления более 30 МПа. The results of the study of the physical characteristics of molybdenum films deposited by magnetron sputtering on perlite glass-ceramic substrates in an argon environment are presented. It is found that the films prepared at a substrate temperature higher than 250°C, have good adhesion and bonding strength characterized by more than 30 MPa.

Publisher:

ՀՀ ԳԱԱ հրատ.

Date created:

2015-03-25

Format:

pdf

Identifier:

oai:arar.sci.am:134613

Location of original object:

ՀՀ ԳԱԱ Հիմնարար գիտական գրադարան

Object collections:

Last modified:

Dec 13, 2023

In our library since:

Apr 21, 2020

Number of object content hits:

8

All available object's versions:

https://arar.sci.am/publication/147968

Show description in RDF format:

RDF

Show description in OAI-PMH format:

OAI-PMH

Objects

Similar

This page uses 'cookies'. More information