Object structure

Publication Details:

Լույս է տեսնում 1966 թվականից՝ տարին 4 անգամ։

Journal or Publication Title:

ՀՀ ԳԱԱ Տեղեկագիր: Ֆիզիկա = Proceedings of the NAS RA: Physics

Date of publication:

2015

Volume:

50

Number:

2

ISSN:

0002-3035

Official URL:


Title:

Физические характеристики пленок молибдена, осажденных на перлитовых стеклокерамических подложках методом магнетронного распыления

Other title:

Physical characteristics of molybdenum films deposited by magnetron sputtering on perlite glass-ceramic substrates

Creator:

Л. А. Арутюнян ; С. Г. Петросян ; К. Э. Авджян

Contributor(s):

Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) ; Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) ; Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)

Subject:

Physics ; Science ; Electricity and magnetism

Uncontrolled Keywords:

Harutyunyan L. A. ; Petrosyan S. G. ; Avjyan K. E.

Coverage:

236-241

Abstract:

Приведены результаты исследования физических характеристик пленок молибдена, осажденных с помощью магнетронного распыления на перлитовых стеклокерамических подложках в аргоновой среде. Установлено, что пленки, полученные при температуре подложки выше 250°C, обладают хорошей адгези-ей и характеризуются прочностью сцепления более 30 МПа. The results of the study of the physical characteristics of molybdenum films deposited by magnetron sputtering on perlite glass-ceramic substrates in an argon environment are presented. It is found that the films prepared at a substrate temperature higher than 250°C, have good adhesion and bonding strength characterized by more than 30 MPa.

Publisher:

ՀՀ ԳԱԱ հրատ.

Date created:

2015-03-25

Type:

Հոդված

Format:

pdf

Call number:

АЖ 415

Location of original object:

ՀՀ ԳԱԱ Հիմնարար գիտական գրադարան