Լույս է տեսնում 1966 թվականից՝ տարին 4 անգամ։
ՀՀ ԳԱԱ Տեղեկագիր: Ֆիզիկա = Proceedings of the NAS RA: Physics
Optimization of magnetron deposition process for formation of high-quality oriented ZnO films
Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) ; Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) ; Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)
Исследованы распределение толщины и структура пленок ZnO, осажденных методом DC магнетронного распыления цинковой мишени в среде газов Ar:O2 при температуре подложки 27°C и давлении газов в камере в интервале 5×10–3 – 5×10–2 мм рт.ст. The thickness distribution and structure of ZnO films deposited by DC-magnetron sputtering of a zinc target in argon-oxygen medium at substrate temperature of 27°C and gas pressure within 5×10–3 – 5×10–2 mm Hg in the chamber was investigated.
oai:arar.sci.am:134416
ՀՀ ԳԱԱ Հիմնարար գիտական գրադարան
May 5, 2025
Apr 21, 2020
33
https://arar.sci.am/publication/147749
Edition name | Date |
---|---|
Оптимизация процесса магнетронного осаждения для формирования качественных, ориентированных пленок ZnO | May 5, 2025 |
Э. Р. Аракелова А. М. Хачатрян К. Э. Авджян Н. С. Арамян В. А. Геворкян С. Г. Григорян Г. Н. Мирзоян Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)
К. Э. Авджян Л. А. Матевосян А. Ю. Мкртчян А. М. Хачатрян Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)
Л. А. Арутюнян С. Г. Петросян К. Э. Авджян Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)
К. Э. Авджян В. В. Буниатян А. Р. Даштоян Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)
А. Ж. Хачатрян Г. М. Андреасян Г. Г. Мгерян В. Д. Бадалян Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)
Л. Ш. Григорян Г. Ф. Хачатрян А. А. Саарян Х. В. Котанджян С. Р. Арзуманян М. Л. Григорян Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)
Д. М. Седракян Д. А. Бадалян Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)
Л. А. Оганнесян Г. А. Мурадян А. Ж. Мурадян Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)