Физические характеристики пленок молибдена, осажденных на перлитовых стеклокерамических подложках методом магнетронного распыления

Л. А. Арутюнян; С. Г. Петросян; К. Э. Авджян

Физические характеристики пленок молибдена, осажденных на перлитовых стеклокерамических подложках методом магнетронного распыления

Download

Title: Физические характеристики пленок молибдена, осажденных на перлитовых стеклокерамических подложках методом магнетронного распыления

Volume:

Number:

ISSN:

0002-3035

Official URL:

Other title:

Physical characteristics of molybdenum films deposited by magnetron sputtering on perlite glass-ceramic substrates

Contributor(s):

Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) ; Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) ; Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)

Coverage:

236-241

Abstract:

Приведены результаты исследования физических характеристик пленок молибдена, осажденных с помощью магнетронного распыления на перлитовых стеклокерамических подложках в аргоновой среде. Установлено, что пленки, полученные при температуре подложки выше 250°C, обладают хорошей адгези-ей и характеризуются прочностью сцепления более 30 МПа. The results of the study of the physical characteristics of molybdenum films deposited by magnetron sputtering on perlite glass-ceramic substrates in an argon environment are presented. It is found that the films prepared at a substrate temperature higher than 250°C, have good adhesion and bonding strength characterized by more than 30 MPa.

Publisher:

ՀՀ ԳԱԱ հրատ.

Date created:

2015-03-25

Format:

pdf

Identifier:

oai:arar.sci.am:134613

Call number:

АЖ 415

Location of original object:

ՀՀ ԳԱԱ Հիմնարար գիտական գրադարան

Subject and keywords:

Physics Science Electricity and magnetism Harutyunyan L. A. Petrosyan S. G. Avjyan K. E.

Object collections:

Digital Library > Articles

Last modified:

May 5, 2025

In our library since:

Apr 21, 2020

Number of object content hits:

All available object's versions:

https://arar.sci.am/publication/147968

Show description in RDF format:

RDF

Show description in OAI-PMH format:

OAI-PMH

ՀՀ ԳԱԱ Տեղեկագիր: Ֆիզիկա = Proceedings of the NAS RA: Physics

Edition name	Date
Физические характеристики пленок молибдена, осажденных на перлитовых стеклокерамических подложках методом магнетронного распыления	May 5, 2025

Object

Title: Физические характеристики пленок молибдена, осажденных на перлитовых стеклокерамических подложках методом магнетронного распыления

Creator:

Type:

Publication Details:

Journal or Publication Title:

Date of publication: