Օբյեկտ

Վերնագիր: Получение и исследование тонких пленок аморфного кремния и p-i-n структур на их основе

Publication Details:

Լույս է տեսնում 1966 թվականից՝ տարին 4 անգամ։

Journal or Publication Title:

ՀՀ ԳԱԱ Տեղեկագիր: Ֆիզիկա = Proceedings of the NAS RA: Physics

Date of publication:

2013

Volume:

48

Number:

4

ISSN:

0002-3035

Official URL:


Other title:

Preparation and investigation of amorphous silicon thin films and p-i-n structures on their base

Contributor(s):

Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) ; Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) ; Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)

Coverage:

277-284

Abstract:

Разработана и собрана лабораторная установка для получения тонких пленок аморфного кремния и структур на их основе методом газофазной эпитаксии. Все рабочие процессы автоматизированы с помощью программного обеспечения в среде LabVIEW. A laboratory setup for preparation of amorphous silicon thin films and structures on their base by chemical vapor deposition (CVD) has been developed and assembled. All the operating processes were automated by software in LabVIEW media.

Publisher:

ՀՀ ԳԱԱ հրատ.

Date created:

2013-08-15

Format:

pdf

Identifier:

oai:arar.sci.am:134488

Call number:

АЖ 415

Location of original object:

ՀՀ ԳԱԱ Հիմնարար գիտական գրադարան

Օբյեկտի հավաքածուներ:

Վերջին անգամ ձևափոխված:

May 5, 2025

Մեր գրադարանում է սկսած:

Apr 21, 2020

Օբյեկտի բովանդակության հարվածների քանակ:

15

Օբյեկտի բոլոր հասանելի տարբերակները:

https://arar.sci.am/publication/147829

Ցույց տուր նկարագրությունը RDF ձևաչափով:

RDF

Ցույց տուր նկարագրությունը OAI-PMH ձևաչափով։

OAI-PMH

Օբյեկտի տեսակ՝

Նման

Այս էջը օգտագործում է 'cookie-ներ'։ Ավելի տեղեկատվություն