Publication Details:
Լույս է տեսնում 1966 թվականից՝ տարին 4 անգամ։
Journal or Publication Title:
ՀՀ ԳԱԱ Տեղեկագիր: Ֆիզիկա = Proceedings of the NAS RA: Physics
Date of publication:
Volume:
Number:
ISSN:
Official URL:
Title:
Получение и исследование тонких пленок аморфного кремния и p-i-n структур на их основе
Other title:
Preparation and investigation of amorphous silicon thin films and p-i-n structures on their base
Creator:
Contributor(s):
Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) ; Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) ; Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)
Subject:
Physics ; Science ; Chemical Physics ; Radiophysics
Uncontrolled Keywords:
Coverage:
Abstract:
Разработана и собрана лабораторная установка для получения тонких пленок аморфного кремния и структур на их основе методом газофазной эпитаксии. Все рабочие процессы автоматизированы с помощью программного обеспечения в среде LabVIEW. A laboratory setup for preparation of amorphous silicon thin films and structures on their base by chemical vapor deposition (CVD) has been developed and assembled. All the operating processes were automated by software in LabVIEW media.