Получение и исследование тонких пленок аморфного кремния и p-i-n структур на их основе

А. Л. Маргарян

Download

Title: Получение и исследование тонких пленок аморфного кремния и p-i-n структур на их основе

Volume:

Number:

ISSN:

0002-3035

Official URL:

Other title:

Preparation and investigation of amorphous silicon thin films and p-i-n structures on their base

Contributor(s):

Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) ; Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) ; Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)

Coverage:

277-284

Abstract:

Разработана и собрана лабораторная установка для получения тонких пленок аморфного кремния и структур на их основе методом газофазной эпитаксии. Все рабочие процессы автоматизированы с помощью программного обеспечения в среде LabVIEW. A laboratory setup for preparation of amorphous silicon thin films and structures on their base by chemical vapor deposition (CVD) has been developed and assembled. All the operating processes were automated by software in LabVIEW media.

Publisher:

ՀՀ ԳԱԱ հրատ.

Date created:

2013-08-15

Format:

pdf

Identifier:

oai:arar.sci.am:134488

Call number:

АЖ 415

Location of original object:

ՀՀ ԳԱԱ Հիմնարար գիտական գրադարան

Subject and keywords:

Physics Science Chemical Physics Radiophysics Margaryan H. L.

Object collections:

Digital Library > Articles

Last modified:

May 5, 2025

In our library since:

Apr 21, 2020

Number of object content hits:

All available object's versions:

https://arar.sci.am/publication/147829

Show description in RDF format:

RDF

Show description in OAI-PMH format:

OAI-PMH

ՀՀ ԳԱԱ Տեղեկագիր: Ֆիզիկա = Proceedings of the NAS RA: Physics

Edition name	Date
Получение и исследование тонких пленок аморфного кремния и p-i-n структур на их основе	May 5, 2025

Object

Title: Получение и исследование тонких пленок аморфного кремния и p-i-n структур на их основе

Creator:

Type:

Publication Details:

Journal or Publication Title:

Date of publication: