Сенсорные свойства структур со слоем пористого кремния

З. О. Мхитарян; В. М. Арутюнян; Ш. А. Гегамян

Download

Title: Сенсорные свойства структур со слоем пористого кремния

Հատոր:

Համար:

ISSN:

0002-3035

Պաշտոնական URL:

Այլ վերնագիր:

Ծակոտկեն սիլիցիումի թաղանթով կառուցվածքների սենսորային հատկությունները; Sensor properties of structures with porous silicon layer

Աջակից(ներ):

Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) ; Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) ; Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)

Ծածկույթ:

210-216

Ամփոփում:

Измерены вольт-амперные и шумовые характеристики структур со слоем пористого кремния (пористость 80%) при адсорбции газов аммиака, смеси бутан + пропан, паров этилового спирта, соответственно, при комнатной температуре. Կատարված են ծակոտկեն սիլիցիումի (ծակոտկենությունը 80%) վոլտ-ամպերային և աղմուկային բնութագրերի չափումներ էթիլ սպիրտի, ամոնիակի և բութան ու պրոպան խառնուրդի ադսորբված մոլեկուլների միջավայրերում: Measurements of current-voltage characteristics and low-frequency noise of structures with a porous silicon layer were carried out in the ammonia, butane + propane mixture, and spirit (ethyl alcohol) environments. Porosity of silicon was equal to 80%.