Ամսագրի կամ հրապարակման վերնագիր:

Digital Repository of the Institute of Radiophysics and Electronics

Հրապարակման ամսաթիվ:

2019

Պաշտոնական URL:

Լրացուցիչ տեղեկություն:

Sargsyan S. T., Саргсян С. Т.

Այլ վերնագիր:

Исследование стабильности процесса согласования радиочастотной плазмы ; Investigation of the stability of impedance matching process for RF originated plasma

Ենթավերնագիր:

«Ռադիոֆիզիկա» մասնագիտությամբ ֆիզիկամաթեմատիկական գիտությունների թեկնածուի գիտական աստիճանի հայցման ատենախոսության սեղմագիր

Համատեղ հեղինակները:

ՀՀ Կրթության և Գիտության նախարարություն ; Երևանի պետական համալսարան

Աջակից(ներ):

Գիտական ղեկավար՝ ֆիզ. մաթ. գիտ. թ․ Տ. Վ. Զաքարյան

Ամփոփում:

Целью данной работы является исследование стабильности процесса согласования радиочастотной плазмы, что позволяет увеличить эффективность и предсказуемость процесса производства полупроводниковых приборов. The aim of this dissertation is to research the stability of the process of matching the radio-frequency originated plasma, which increases the efficiency and predictability of semiconductor devices manufacturing. To reach the stated aim, the following objectives have been set.

Հրատարակության վայրը:

Երևան

Հրատարակիչ:

ՀՀ ԳԱԱ

Ձևաչափ:

pdf

Չափեր:

21 էջ

Ֆիզիկական այլ նկարագրություն:

նկ․

Նույնացուցիչ:

oai:arar.sci.am:265032

Լեզու:

hy