Ամսագրի կամ հրապարակման վերնագիր:
Digital Repository of the Institute of Radiophysics and Electronics
Հրապարակման ամսաթիվ:
Պաշտոնական URL:
Լրացուցիչ տեղեկություն:
Վերնագիր:
Ռադիոհաճախային պլազմայի իմպեդանսի համաձայնեցման պրոցեսի կայունության ուսումնասիրումը
Այլ վերնագիր:
Исследование стабильности процесса согласования радиочастотной плазмы ; Investigation of the stability of impedance matching process for RF originated plasma
Ենթավերնագիր:
Ստեղծողը:
Համատեղ հեղինակները:
ՀՀ Կրթության և Գիտության նախարարություն ; Երևանի պետական համալսարան
Աջակից(ներ):
Գիտական ղեկավար՝ ֆիզ. մաթ. գիտ. թ․ Տ. Վ. Զաքարյան
Խորագիր:
Physics ; Instruments, apparatus, components common to several branches of physics ; Dissertations and Theses
Ամփոփում:
Целью данной работы является исследование стабильности процесса согласования радиочастотной плазмы, что позволяет увеличить эффективность и предсказуемость процесса производства полупроводниковых приборов. The aim of this dissertation is to research the stability of the process of matching the radio-frequency originated plasma, which increases the efficiency and predictability of semiconductor devices manufacturing. To reach the stated aim, the following objectives have been set.
Հրատարակության վայրը:
Երևան