Journal or Publication Title:
Digital Repository of the Institute of Radiophysics and Electronics
Date of publication:
Official URL:
Additional Information:
Title:
Ռադիոհաճախային պլազմայի իմպեդանսի համաձայնեցման պրոցեսի կայունության ուսումնասիրումը
Other title:
Исследование стабильности процесса согласования радиочастотной плазмы ; Investigation of the stability of impedance matching process for RF originated plasma
Remainder of title:
Creator:
Corporate Creators:
ՀՀ Կրթության և Գիտության նախարարություն ; Երևանի պետական համալսարան
Contributor(s):
Գիտական ղեկավար՝ ֆիզ. մաթ. գիտ. թ․ Տ. Վ. Զաքարյան
Subject:
Physics ; Instruments, apparatus, components common to several branches of physics ; Dissertations and Theses
Abstract:
Целью данной работы является исследование стабильности процесса согласования радиочастотной плазмы, что позволяет увеличить эффективность и предсказуемость процесса производства полупроводниковых приборов. The aim of this dissertation is to research the stability of the process of matching the radio-frequency originated plasma, which increases the efficiency and predictability of semiconductor devices manufacturing. To reach the stated aim, the following objectives have been set.
Place of publishing:
Երևան