Object

Title: Ռադիոհաճախային պլազմայի իմպեդանսի համաձայնեցման պրոցեսի կայունության ուսումնասիրումը

Journal or Publication Title:

Digital Repository of the Institute of Radiophysics and Electronics

Date of publication:

2019

Official URL:


Additional Information:

Sargsyan S. T., Саргсян С. Т.

Other title:

Исследование стабильности процесса согласования радиочастотной плазмы ; Investigation of the stability of impedance matching process for RF originated plasma

Remainder of title:

«Ռադիոֆիզիկա» մասնագիտությամբ ֆիզիկամաթեմատիկական գիտությունների թեկնածուի գիտական աստիճանի հայցման ատենախոսության սեղմագիր

Corporate Creators:

ՀՀ Կրթության և Գիտության նախարարություն ; Երևանի պետական համալսարան

Contributor(s):

Գիտական ղեկավար՝ ֆիզ. մաթ. գիտ. թ․ Տ. Վ. Զաքարյան

Abstract:

Целью данной работы является исследование стабильности процесса согласования радиочастотной плазмы, что позволяет увеличить эффективность и предсказуемость процесса производства полупроводниковых приборов. The aim of this dissertation is to research the stability of the process of matching the radio-frequency originated plasma, which increases the efficiency and predictability of semiconductor devices manufacturing. To reach the stated aim, the following objectives have been set.

Place of publishing:

Երևան

Publisher:

ՀՀ ԳԱԱ

Format:

pdf

Extent:

21 էջ

Other physical description:

նկ․

Identifier:

oai:arar.sci.am:265032

Language:

hy

Object collections:

Last modified:

Jan 13, 2021

In our library since:

Jan 13, 2021

Number of object content hits:

16

All available object's versions:

https://arar.sci.am/publication/288645

Show description in RDF format:

RDF

Show description in OAI-PMH format:

OAI-PMH

Objects

Similar

This page uses 'cookies'. More information