Digital Repository of the Institute of Radiophysics and Electronics
Исследование стабильности процесса согласования радиочастотной плазмы ; Investigation of the stability of impedance matching process for RF originated plasma
ՀՀ Կրթության և Գիտության նախարարություն ; Երևանի պետական համալսարան
Գիտական ղեկավար՝ ֆիզ. մաթ. գիտ. թ․ Տ. Վ. Զաքարյան
Целью данной работы является исследование стабильности процесса согласования радиочастотной плазмы, что позволяет увеличить эффективность и предсказуемость процесса производства полупроводниковых приборов. The aim of this dissertation is to research the stability of the process of matching the radio-frequency originated plasma, which increases the efficiency and predictability of semiconductor devices manufacturing. To reach the stated aim, the following objectives have been set.
Երևան
oai:arar.sci.am:265032
Jan 13, 2021
Jan 13, 2021
16
https://arar.sci.am/publication/288645
Edition name | Date |
---|---|
Սարգսյան, Սարգիս Թադևոսի, Ռադիոհաճախային պլազմայի իմպեդանսի համաձայնեցման պրոցեսի կայունության ուսումնասիրումը | Jan 13, 2021 |
Սարգսյան, Սարգիս Թադևոսի Գիտական ղեկավար՝ ֆիզ. մաթ. գիտ. թ․ Տ. Վ. Զաքարյան
Մուժիկյան, Արամազդ Հրաչյայի Գիտական ղեկավար՝ Ֆիզ. մաթ. գիտ. թ. Տ. Վ. Զաքարյան
Հայրապետյան, Հայկ Գառնիկի Գիտական ղեկավար՝ Ֆիզ. մաթ. գիտ. թ. Տ. Վ. Զաքարյան
Մուժիկյան, Արամազդ Հրաչյայի Գիտական ղեկավար՝ Ֆիզ. մաթ. գիտ. թ. Տ. Վ. Զաքարյան
Ավագյան, Հովհաննես Ռուբենի Գիտական ղեկավար`Ֆիզ. մաթ. գիտ. թեկնածու Ա. Ա. Հախումյան
Ավագյան, Հովհաննես Ռուբենի Գիտական ղեկավար`Ֆիզ. մաթ. գիտ. թեկնածու Ա. Ա. Հախումյան
Հայրապետյան, Հայկ Գառնիկի Գիտական ղեկավար՝ Ֆիզ. մաթ. գիտ. թ. Տ. Վ. Զաքարյան
Աղաջանյան, Անդրանիկ Արմենի Գիտական ղեկավար՝ Ֆիզ. մաթ. գիտ. թ. Տ. Վ. Զաքարյան