Նիւթ

Վերնագիր: Magnetron Sputtering Techniques and Their Applications at Gas Sensors Manufacturing

Ստեղծողը:

M. S. Aleksanyan

Տեսակ:

Հոդված

Հրապարակման մանրամասներ:

Established in 2008

Ամսագրի կամ հրապարակման վերնագիր:

Armenian Journal of Physics=Ֆիզիկայի հայկական հանդես

Հրապարակման ամսաթիւ:

2019

Հատոր:

12

Համար:

1

ISSN:

1829-1171

Պաշտոնական URL:


Համատեղ հեղինակները:

Yerevan State University (YSU)

Ծածկոյթ:

62-77

Ամփոփում:

The types of thin film deposition techniques and their differences are presented in this article. The characteristics of magnetron sputtering techniques are thoroughly observed. A review of recent research efforts and developments for the fabrication of semiconductor resistive gas sensors using magnetron sputtering deposition methods, presenting its potential advantages as a materials synthesis technique for gas sensors along with a discussion of their sensing performance are also presented. It can be argued that these advantages are likely to drive increased interest in the use of magnetron sputtering techniques for gas sensor materials over the next decade as the advanced physical vapor deposition (PVD) method.

Ստեղծման ամսաթիւը:

2019-04-06

Ձեւաչափ:

pdf

Նոյնացուցիչ:

oai:arar.sci.am:23556

Բնօրինակին գտնուելու վայրը:

ՀՀ ԳԱԱ Հիմնարար գիտական գրադարան

Նիւթին հաւաքածոները:

Վերջին անգամ ձեւափոխուած է:

Dec 13, 2023

Մեր գրադարանին մէջ է սկսեալ:

Feb 27, 2020

Նիւթին բովանդակութեան հարուածներուն քանակը:

126

Նիւթին բոլոր հասանելի տարբերակները:

https://arar.sci.am/publication/26327

Ցոյց տուր նկարագրութիւնը RDF ձեւաչափով:

RDF

Ցոյց տուր նկարագրութիւնը OAI-PMH ձեւաչափով։

OAI-PMH

Հրատարակութեան անունը Թուական
Magnetron Sputtering Techniques and Their Applications at Gas Sensors Manufacturing Dec 13, 2023

Օբյեկտի տեսակ՝

Նման

Այս էջը կ'օգտագործէ 'cookie-ներ'։ Յաւելեալ տեղեկատուութիւն