Определение коэффициента преломления и толщины наноразмерных пленок аморфного углерода по спектрам отражения видимого диапазона

Г. А. Дабагян; Л. А. Матевосян; К. Э. Авджян

Download

Title: Определение коэффициента преломления и толщины наноразмерных пленок аморфного углерода по спектрам отражения видимого диапазона

Volume:

Number:

ISSN:

0002-3035

Official URL:

Other title:

Determination of Refractive Index and Thickness of Nanosized Amorphous Carbon Films via Visible Range Reflectance Spectra

Contributor(s):

Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) ; Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) ; Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)

Coverage:

249-252

Abstract:

Из спектров отражения в видимом диапазоне длин волн экспериментально определены значения толщины и коэффициента преломления (1.92 < nf < 2.19) аморфных наноразмерных пленок углерода, полученных на подложке кристаллического кремния методом лазерно-импульсного осаждения. Полученные пленки могут быть использованы в качестве однослойных антиотражающих покрытий для полупроводников Si и GaAs. The values of thickness and refractive index (1.92 < nf < 2.19) of amorphous nanosized carbon films obtained on a crystalline silicon substrate by pulsed laser deposition were experimentally determined via an analysis of visible range reflection spectra. Obtained films can be used as single-layer anti-reflective coatings for semiconductors Si and GaAs.

Publisher:

ՀՀ ԳԱԱ հրատ.

Date created:

2019-05-09

Format:

pdf

Identifier:

oai:arar.sci.am:134884

Call number:

АЖ 415

Location of original object:

ՀՀ ԳԱԱ Հիմնարար գիտական գրադարան

Subject and keywords:

Physics Science Optics; Light Dabaghyan G. A. Matevosyan L. M. Avjyan K. E.

Object collections:

Digital Library > Articles

Last modified:

May 5, 2025

In our library since:

Apr 21, 2020

Number of object content hits:

All available object's versions:

https://arar.sci.am/publication/148267

Show description in RDF format:

RDF

Show description in OAI-PMH format:

OAI-PMH

ՀՀ ԳԱԱ Տեղեկագիր: Ֆիզիկա = Proceedings of the NAS RA: Physics

Edition name	Date
Определение коэффициента преломления и толщины наноразмерных пленок аморфного углерода по спектрам отражения видимого диапазона	May 5, 2025

Object

Title: Определение коэффициента преломления и толщины наноразмерных пленок аморфного углерода по спектрам отражения видимого диапазона

Creator:

Type:

Publication Details:

Journal or Publication Title:

Date of publication: