Object structure

Լույս է տեսնում 1966 թվականից՝ տարին 4 անգամ։

ՀՀ ԳԱԱ Տեղեկագիր: Ֆիզիկա = Proceedings of the NAS RA: Physics

Определение коэффициента преломления и толщины наноразмерных пленок аморфного углерода по спектрам отражения видимого диапазона

Determination of Refractive Index and Thickness of Nanosized Amorphous Carbon Films via Visible Range Reflectance Spectra

Г. А. Дабагян ; Л. А. Матевосян ; К. Э. Авджян

Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) ; Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) ; Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)

Physics ; Science ; Optics; Light

Dabaghyan G. A. ; Matevosyan L. M. ; Avjyan K. E.

249-252

Из спектров отражения в видимом диапазоне длин волн экспериментально определены значения толщины и коэффициента преломления (1.92 < nf < 2.19) аморфных наноразмерных пленок углерода, полученных на подложке кристаллического кремния методом лазерно-импульсного осаждения. Полученные пленки могут быть использованы в качестве однослойных антиотражающих покрытий для полупроводников Si и GaAs. The values of thickness and refractive index (1.92 < nf < 2.19) of amorphous nanosized carbon films obtained on a crystalline silicon substrate by pulsed laser deposition were experimentally determined via an analysis of visible range reflection spectra. Obtained films can be used as single-layer anti-reflective coatings for semiconductors Si and GaAs.