Object structure

Publication Details:

Լույս է տեսնում 1966 թվականից՝ տարին 4 անգամ։

Journal or Publication Title:

ՀՀ ԳԱԱ Տեղեկագիր: Ֆիզիկա = Proceedings of the NAS RA: Physics

Date of publication:

2019

Volume:

54

Number:

2

ISSN:

0002-3035

Official URL:


Title:

Определение коэффициента преломления и толщины наноразмерных пленок аморфного углерода по спектрам отражения видимого диапазона

Other title:

Determination of Refractive Index and Thickness of Nanosized Amorphous Carbon Films via Visible Range Reflectance Spectra

Creator:

Г. А. Дабагян ; Л. А. Матевосян ; К. Э. Авджян

Contributor(s):

Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) ; Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) ; Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)

Subject:

Physics ; Science ; Optics; Light

Uncontrolled Keywords:

Dabaghyan G. A. ; Matevosyan L. M. ; Avjyan K. E.

Coverage:

249-252

Abstract:

Из спектров отражения в видимом диапазоне длин волн экспериментально определены значения толщины и коэффициента преломления (1.92 < nf < 2.19) аморфных наноразмерных пленок углерода, полученных на подложке кристаллического кремния методом лазерно-импульсного осаждения. Полученные пленки могут быть использованы в качестве однослойных антиотражающих покрытий для полупроводников Si и GaAs. The values of thickness and refractive index (1.92 < nf < 2.19) of amorphous nanosized carbon films obtained on a crystalline silicon substrate by pulsed laser deposition were experimentally determined via an analysis of visible range reflection spectra. Obtained films can be used as single-layer anti-reflective coatings for semiconductors Si and GaAs.

Publisher:

ՀՀ ԳԱԱ հրատ.

Date created:

2019-05-09

Type:

Հոդված

Format:

pdf

Call number:

АЖ 415

Location of original object:

ՀՀ ԳԱԱ Հիմնարար գիտական գրադարան