Исследование газового сенсора на основе пленки In2O3:Ga2O3

М. С. Алексанян; В. М. Аракелян; В. М. Арутюнян; Г. Э. Шахназарян

Download

Title: Исследование газового сенсора на основе пленки In2O3:Ga2O3

Volume:

Number:

ISSN:

0002-3035

Official URL:

Other title:

In2O3:Ga2O3 թաղանթի հիման վրա գազային սենսորի հետազոտումը; Investigation of gas sensor made of In2O3:Ga2O3 film

Contributor(s):

Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) ; Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) ; Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)

Coverage:

132-143

Abstract:

Изготовлен сенсор ГСН и бутана, чувствительным элементом которого является наноразмерная пленка In2O3:Ga2O3(96:4 вес.%), покрытая тонким каталитическим палладиевым слоем. Պատրաստված է ԳՀՆ և բութանի տվիչ, որի զգայուն տարր է հանդիսանում նանոչափային In2O3:Ga2O3 (96:4 կշռ.%) թաղանթը, որի մակերևույթին նստեցված է պալադիումի բարակ կատալիտիկ շերտ: LPG and butane gas sensor was manufactured. Its sensitive element is In2O3:Ga2O3(96:4 wt.%) nanosize film covered by a thin palladium catalytic layer.