Сенсор метана на основе наноструктуры SnO2/In2O3/TiO2

М. С. Алексанян

Download

Title: Сенсор метана на основе наноструктуры SnO2/In2O3/TiO2

Volume:

Number:

ISSN:

0002-3035

Official URL:

Other title:

Մեթանի սենսոր SnO2/In2O3/TiO2 նանոկառուցվածքի հիման վրա; Methane sensor based on SnO2/In2O3/TiO2 nanostructure

Contributor(s):

Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) ; Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) ; Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)

Coverage:

116-121

Abstract:

В системе SnO2/In2O3/TiO2 изготовлены две группы образцов с разными концентрациями составляющих веществ. В первой группе использован TiO2 со структурой рутила, во второй – анатаза. Из полученных смесей были осаждены тонкие пленки (до 50 нм толщины). SnO2/In2O3/TiO2 համակարգում պատրաստվել են երկու խումբ նմուշներ` բաղադրիչ նյութերի տարբեր կոնցենտրացիաներով: Առաջին խմբում TiO2-ը վերցվել է ռութիլի բյուրեղային ցանցով, երկրորդ խմբում` անատազի: Ստացված բաղադրություններից նստեցվել են բարակ (մինչև 50 նմ հաստությամբ) թաղաթներ: Two groups of samples in In2O3–SnO2–TiO2 system with different concentrations of components were prepared. In the first group of samples TiO2 has rutile crystal lattice and in the second group it has anatase crystal lattice. The thin films (up to 50 nm) were deposited using obtained compounds.