Object

Title: EXPERIMENTS AND COMPUTER SIMULATION RESULTS OF ANGULAR DISTRIBUTION OF SPUTTERED PARTICLES

Ստեղծողը:

M. Ait El Fqih ; P. G. Fournier

Տեսակ:

Հոդված

Հրապարակման մանրամասներ:

Established in 2008

Ամսագրի կամ հրապարակման վերնագիր:

Armenian Journal of Physics=Ֆիզիկայի հայկական հանդես

Հրապարակման ամսաթիվ:

2009

Հատոր:

2

Համար:

3

ISSN:

1829-1171

Պաշտոնական URL:


Ծածկույթ:

157-163

Ամփոփում:

A polycrystalline Be target is submitted to the impact of 5 keV krypton ion beam. The sputtered Be particles at different angles of incidence are measured. The SRIM code and OKSANA simulation program were employed to obtain the sputtering yields of Be atoms. The angular distributions of sputtered Be particles and sputtering yields were compared each other and revealed that both of them were in a fairly good agreement. The surface morphology is observed by scanning electron micrography. The resulting differences between simulations and experiment are explained quantitatively.

Ստեղծման ամսաթիվը:

2009-10-19

Ձևաչափ:

pdf

Նույնացուցիչ:

oai:arar.sci.am:23235

Բնօրինակի գտնվելու վայրը:

ՀՀ ԳԱԱ Հիմնարար գիտական գրադարան

Object collections:

Last modified:

Dec 13, 2023

In our library since:

Feb 27, 2020

Number of object content hits:

15

All available object's versions:

https://arar.sci.am/publication/25946

Show description in RDF format:

RDF

Show description in OAI-PMH format:

OAI-PMH

This page uses 'cookies'. More information