Исследование сенсора на основе ZnO:La для детектирования паров перекиси водорода методом импедансной спектроскопии

Ջրածնի պերօքսիդի գոլորշիների հայտնաբերման ZnO:La տվիչի հետազոտությունը իմպեդանսային սպեկտրասկոպիայի եղանակով; Investigation of Sensor Made of ZnO:La for Detection of Hydrogen Peroxide Vapours by Impedance Spectroscopy Method

Г. А. Шахатуни ; В. М. Арутюнян ; В. М. Аракелян ; М. С. Алексанян ; Г. Э. Шахназарян

Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) ; Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) ; Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)

Physics ; Science ; Electricity and magnetism

Շահխաթունի Գ. Հ. ; Հարությունյան Վ. Մ. ; Առաքելյան Վ. Մ. ; Ալեքսանյան Մ. Ս. ; Շահնազարյան Գ. Է. ; Shahkhatuni G. H. ; Aroutiounian V. M. ; Arakelyan V. M. ; Aleksanyan M. S. ; Shahnazaryan G. E.

253-262

В статье представлена импедансная спектроскопия как перспективный метод для исследования чувствительности газовых полупроводниковых сенсоров. Изготовлен сенсор на основе наноразмерной пленки ZnO, легированной 1 ат.% La, и исследована его чувствительность к парам перекиси водорода. Показаны преимущества импедансной спектроскопии по сравнению с исследованиями вольт–амперных характеристик. Հոդվածում ներկայացված է իմպեդանսային սպեկտրոսկոպիան որպես կիսահաղորդչային սենսորների հետազոտման հեռանկարային մեթոդ։ Պատրաստվել է 1 ատ.% La լեգիրացված ZnO-ի նանոչափային թաղանթի հիման վրա սենսոր և ուսումնասիրվել է նրա զգայունությունը ջրածնի պերօքսիդի գոլորշիների նկատմամբ։ Ցույց է տրվել իմպեդանսային սպեկտրոսկոպիայի առավելությունները վոլտամպերային բնութագծերի հետազոտությունների համեմատ։ Impedance spectroscopy is presented as promising method for investigation of semiconductor sensors. The sensor made of nanosize film ZnO doped with 1% La was manufactured and investigated its sensitivity to hydrogen peroxide vapours. The advantages of impedance spectroscopy compared with studies of current-voltage characteristics are shown.

ՀՀ ԳԱԱ Հիմնարար գիտական գրադարան