Влияние отжига на оптические и электрические свойства пленок ZnO:Er

Н. Р. Агамалян; Р. К. Овсепян; Е. А. Кафадарян; Р. Б. Костанян; С. И. Петросян; Г. О. Ширинян; М. Н. Нерсисян; А. Х. Абдуев; А. Ш. Асваров

Title: Влияние отжига на оптические и электрические свойства пленок ZnO:Er

Volume:

Number:

ISSN:

0002-3035

Official URL:

Other title:

Թրծման ազդեցությունը ZnO:Er թաղանթների օպտիկական և էլեկտրական հատկությունների վրա; Effect of annealing on the optical and electrical properties of ZnO:Er films

Contributor(s):

Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) ; Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) ; Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)

Coverage:

224-231

Abstract:

Исследовано влияние концентрации примеси и отжига в окислительной атмосфере на структурные, оптические и электрические свойства пленок ZnO:Er, полученных методом вакуумного электронно-лучевого напыления на сапфировых подложках. The effect of dopant concentration and annealing in an oxidizing atmosphere on the structure, electrical and optical properties of ZnO:Er thin films deposited on the sapphire substrates by the e-beam evaporation method is investigated.