Использование пленок диоксида кремния в качестве антиотражающего покрытия термоэлектрического однофотонного детектора

Антиотражающие слои являются важной частью чувствительных элементов высокоэффективных однофотонных детекторов. Методом электроннолучевого напыления на подложках Al2O3, AlN, Si и покрытиях CeB6, LaB6 и W нами получены аморфные пленки диоксида кремния. Исследованы элементный состав, микроструктура и шероховатость поверхности, оптические характеристики образцов, полученных при различных условиях напыления. Показано, что двухслойные покрытия SiO2/Al2O3 и SiO2/AlN могут обеспечить высокую эффективность детектирования при регистрации излучения в ближней ИК области, которое используется в телекоммуникационных системах и устройствах квантовой обработки информации. The anti-reflection layers are an important parts of high-performance single-photon detectors’ sensitive elements. Amorphous silicon dioxide films are obtained by electron beam deposition method on Al2O3, AlN, Si substrates and CeB6, LaB6, W coatings. The elemental composition, microstructure and roughness of the surface as well as the optical characteristics of samples obtained under various deposition conditions are investigated. It is shown that SiO2/Al2O3 and SiO2/AlN two-layer coatings can provide high detection efficiency for detecting near infrared region radiation, that is used in telecommunication systems and quantum information processing devices.

Publisher:

Հայաստանի ԳԱԱ

Format:

pdf

Identifier:

oai:arar.sci.am:264652

Call number:

АЖ 415

Location of original object:

ՀՀ ԳԱԱ Հիմնարար գիտական գրադարան

Subject and keywords:

Physics

Object collections:

Digital Library > Articles

Last modified:

May 5, 2025

In our library since:

Dec 23, 2020

Number of object content hits:

All available object's versions:

https://arar.sci.am/publication/288195

Show description in RDF format:

RDF

Show description in OAI-PMH format:

OAI-PMH

ՀՀ ԳԱԱ Տեղեկագիր: Ֆիզիկա = Proceedings of the NAS RA: Physics

Edition name	Date
Кузанян, А. А., Использование пленок диоксида кремния в качестве антиотражающего покрытия термоэлектрического однофотонного детектора	May 5, 2025

Object

Title: Использование пленок диоксида кремния в качестве антиотражающего покрытия термоэлектрического однофотонного детектора

Creator:

Type:

Publication Details:

Journal or Publication Title:

Date of publication:

Volume:

Number:

ISSN:

Official URL:

Additional Information:

Other title:

Contributor(s):

Coverage:

Abstract:

Publisher:

Format:

Identifier:

Call number:

Location of original object:

Subject and keywords:

Object collections:

Last modified:

In our library since:

Number of object content hits:

All available object's versions:

Show description in RDF format:

Show description in OAI-PMH format:

Objects

Similar

Contact details

Address

Phone

E-Mail

Visit us!