Object structure

LiNbO3 տակդիրի վրա YBCO բարակ թաղանթների լազերային փոշենստեցման որոշ առանձնահատկություններ; Some features of laser deposition of ybco films on linbo3 substrates

С. Р. Арутюнян ; В. Е. Карапетян ; Г. Р. Бадалян ; А. С. Кузанян

Պատ․ խմբ․՝ Ա․ Գ․ Նազարով (1957-1964) ; Մ․ Վ․ Կասյան (1964-1988) ; Ռ․ Մ․ Մարտիրոսյան (1989-2017 ) ; Գլխավոր խմբ․՝ Վ․ Շ․ Մելիքյան (2018-)

Electrical engineering; Electronics; Nuclear engineering ; Technology

Հարությունյան Ս. Ռ. ; Կարապետյան Վ. Ե. ; Բադալյան Գ. Ր. ; Կուզանյան Ա. Ս. ; Harutyunyan S. R. ; Karapetyan V. E. ; Badalyan G. R. ; Kuzanyan A. S. ; сверхпроводящие контакты ; многослойные структуры ; ПАВ фильтры

190-194

С целью получения многослойных структур YBCO/LiNbO3, для изготовления ПАВ фильтров со сверхпроводящими контактами, исследован процесс взаимодействия пленок YBCO с LiNbO3 подложкой. Для лазерного напыления пленок YBCO использовались мишени состава Y1Ba2CunOy (n=3…5). Данные рентгенофазового анализа и электронной микроскопии показывают, что при температурах выше 600⁰С,необходимых для формирования структуры YBCO при лазерном напылении, происходит взаимодействие пленки с подложкой. Исследование оптических спектров подложек LiNbO3, очищенных от пленок,свидетельствует о диффузии атомов Cu из пленки в подложку. Предложены другие пути получения многослойных структур YBCO/LiNbO3 для изготовления ПАВ фильтров. Գերհաղորդիչ հպակներով ՄԱԱ ֆիլտրերի պատրաստման համար YBCO/LiNbO3 բազմաշերտ կառուցվածքներ ստանալու նպատակով ուսումնասիրվել է YBCO թաղանթների և LiNbO3 տակդիրների փոխազդեցության գործընթացը: YBCO թաղանթների լազերային փոշենստեցման համար կիրառվել են Y1Ba2CunOy (n=3…5) բաղադրության թիրախներ: Ռենտգենաֆազային անալիզի և էլեկտրոնային միկրոսկոպիայի տվյալները ցույց են տալիս, որ 600⁰C- ից բարձր ջերմաստիճաններում, որն անհրաժեշտ է լազերային փոշենստեցման ժամանակ YBCO կառուցվածքի ձևավորման համար, տեղի է ունենում թաղանթի և տակդիրի փոխազդեցություն: Թաղանթներից մաքրված LiNbO3 տակդիրների օպտիկական սպեկտրների ուսումնասիրումը ցույց է տալիս, որ տեղի է ունենում պղնձի ատոմների դիֆուզիա` թաղանթից դեպի տակդիր: ՄԱԱ ֆիլտրերի պատրաստման համար առաջարկում են YBCO/LiNbO3 բազմաշերտ կառուցվածքների ստացման այլ ուղիներ: To study multilayer YBCO/LiNbO3 structures for constructing filters with conductive contacts, the process of YBCO film interaction with LiNbO3 substrates is investigated. The targets with Y1Ba2CunOy (n=3…5) composition are used for laser deposition of YBCO films. The data of the X-ray analysis of microscopy show that at the temperatures higher than 600⁰C necessary for forming YBCO structures an interaction of the film with the substrate occurs during laser deposition. The investigation of optical spectra of LiNbO3 substrates cleaned from films shows the diffusion of Cu atoms from films into the substrate. Other ways for obtaining multilayer YBCO/LiNbO3 structures for producing SAW filters are proposed.

Երևան