Publication Details:
Լույս է տեսնում 1966 թվականից՝ տարին 4 անգամ։
Journal or Publication Title:
ՀՀ ԳԱԱ Տեղեկագիր: Ֆիզիկա = Proceedings of the NAS RA: Physics
Date of publication:
Volume:
Number:
ISSN:
Official URL:
Title:
Газовый сенсор на основе наноразмерной пленки In2O3:Ga2O3
Other title:
Gas sensor based on nanosize In2O3:Ga2O3 film
Creator:
М. С. Алексанян ; В. М. Аракелян ; В. М. Арутюнян ; А. З. Адамян ; Г. Э. Шахназарян
Contributor(s):
Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) ; Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) ; Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)
Subject:
Physics ; Science ; Radiophysics
Uncontrolled Keywords:
Aleksanyan M. S. ; Arakelyan V. M. ; Aroutiounian V. M. ; Adamyan A. Z. ; Shahnazaryan G. E.
Coverage:
Abstract:
Наноразмерные пленки In2O3:Ga2O3 (96:4 вес.%) были осаждены на ситалловую подложку методом высокочастотного магнетронного распыления. Поверхность изготовленных пленок исследована с помощью сканирующего электронного микроскопа, определены размеры зерен, измерена толщина пленок. In2O3:Ga2O3 (96:4 wt.%) nanosize films were deposited on glass-ceramic substrates by highfrequency magnetron sputtering. The surfaces of prepared films were investigated by scanning electron microscopy, the sizes of grains were determined, and the thicknesses of films were measured.