Այլ վերնագիր:

Փոփոխական մագնիսական դաշտի երկչափ արտապատկերման և դիտարկման համակարգ / Ա. Ա. Աղաջանյան, Ա. Ա. Հախումյան, Տ. Վ. Զաքարյան, Հ. Կ. Մելիքյան, Ն. Գ. Պողոսյան։ A two- dimensional visualization and monitoring system for an alternating magnetic field / A. A. Aghajanyan, A. A. Hakhoumian, T. V. Zakaryan, H. K. Melikyan, N. G. Poghosyan.

Ծածկույթ:

395-402

Ամփոփում:

Разработана и исследована система для двумерного мониторинга действующего значения индукции переменного магнитного поля в горизонтальной плоскости камеры плазменной обработки. Для увеличения скорости измерений был использован метод параллельных измерений датчиками с чувствительностью к переменному магнитному полю порядка 1.8∙10-8Т. Մշակվել և հետազոտվել է պլազմային մշակման խցիկի մագնիսական դաշտի գործող արժեքի երկչափ դիտարկման համակարգ: Չափման արագագործությունը մեծացնելու նպատակով օգտագործվել է զուգահեռ չափումների մեթոդը: Մագնիսական տվիչների սեփական զգայնությունը կազմում է մոտավորապես 1.8·10-8 Տլ: A system for two-dimensional monitoring of the effective induction value of the alternating magnetic field in the horizontal plane of the plasma processing chamber is developed and investigated. In order to increase the measurement speed, the method of parallel measurement is used by sensors sensitive to the alternating magnetic field of the order 1.8∙10-8Т.

Հրատարակիչ:

ՀՀ ԳԱԱ

Ստեղծման ամսաթիվը:

2014-10-19

Ձևաչափ:

pdf

Նույնացուցիչ:

oai:arar.sci.am:32955

Ամսագրի կամ հրապարակման վերնագիր:

ՀՀ ԳԱԱ և ՀՊՃՀ Տեղեկագիր. Տեխնիկական գիտություններ =Proceedings of the NAS RA and SEUA: Technical Sciences

Հրապարակման ամսաթիվ:

2014

Հատոր:

vol. 67

Համար:

№ 4

ISSN:

0002-306X

Բնօրինակի գտնվելու վայրը:

ՀՀ ԳԱԱ Հիմնարար գիտական գրադարան