Publication Details:
Լույս է տեսնում 1966 թվականից՝ տարին 4 անգամ։
Journal or Publication Title:
ՀՀ ԳԱԱ Տեղեկագիր: Ֆիզիկա = Proceedings of the NAS RA: Physics
Date of publication:
Volume:
Number:
ISSN:
Official URL:
Additional Information:
Title:
Other title:
Fabrication and Investigation of a ZnO Resistive Gas Sensor for Detecting Low Concentrations of Ammonia ; ZnO ռեզիստիվ գազային սենսորի պատրաստումը և հետազոտումը ամոնիակի փոքր կոնցենտրացիաների հայտնաբերման համար
Creator:
Contributor(s):
Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) ; Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) ; Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)
Subject:
Coverage:
Abstract:
Изготовлен резистивный сенсор для обнаружения малых концентраций аммиака. Газочувствительная пленка сенсора на основе ZnO с обогащенной каталитическими атомами Pt поверхностью была получена методом высокочастотного магнетронного распыления. Исследовались состав и морфология поверхности полученной пленки. Изучались параметры изготовленного газового сенсора к воздействию аммиака при разных рабочих температурах, а также при разных концентрациях целевого газа. Оптимальной рабочей температурой было выбрано 200℃, отклик при данной температуре сенсора равнялся ~90% при 260 ppm концентрации аммиака. Установлено, что исследуемый сенсор проявляет достаточный отклик к малым концентрациям аммиака (~3 ppm). Показано, что зависимость отклика сенсора от концентрации целевого газа в области концентраций аммиака от 3 до 260 ppm является линейной.
A resistive sensor for detecting low ammonia concentrations has been fabricated. The sensor's gas-sensitive film, based on ZnO and enriched with catalytic Pt atoms on the surface, was produced using high-frequency magnetron sputtering. The film's thickness, composition, and surface morphology were studied. The sensor's sensitivity to ammonia was assessed at various operating temperatures and target gas concentrations. At the optimal operating temperature of 200°C, the sensor's response was 90% at an ammonia concentration of 260 ppm. The sensor demonstrated sufficient response to low ammonia concentrations (~3 ppm). The sensor's response was shown to be linear in the ammonia concentration range from 3 ppm to 260 ppm.