Publication Details:

Լույս է տեսնում 1948 թվականից՝ տարին 4 անգամ։

Journal or Publication Title:

ՀՀ ԳԱԱ և ՀՊՃՀ Տեղեկագիր. Տեխնիկական գիտություններ =Proceedings of the NAS RA and SEUA: Technical Sciences

Date of publication:

2014

Volume:

67

Number:

4

ISSN:

0002-306X

Official URL:

Other title:

Փոփոխական մագնիսական դաշտի երկչափ արտապատկերման և դիտարկման համակարգ / Ա. Ա. Աղաջանյան, Ա. Ա. Հախումյան, Տ. Վ. Զաքարյան, Հ. Կ. Մելիքյան, Ն. Գ. Պողոսյան։ A two- dimensional visualization and monitoring system for an alternating magnetic field / A. A. Aghajanyan, A. A. Hakhoumian, T. V. Zakaryan, H. K. Melikyan, N. G. Poghosyan.

Contributor(s):

Պատ․ խմբ․՝ Ա․ Գ․ Նազարով (1957-1964) ; Մ․ Վ․ Կասյան (1964-1988) ; Ռ․ Մ․ Մարտիրոսյան (1989-2017 ) ; Գլխավոր խմբ․՝ Վ․ Շ․ Մելիքյան (2018-)

Coverage:

395-402

Abstract:

Разработана и исследована система для двумерного мониторинга действующего значения индукции переменного магнитного поля в горизонтальной плоскости камеры плазменной обработки. Для увеличения скорости измерений был использован метод параллельных измерений датчиками с чувствительностью к переменному магнитному полю порядка 1.8∙10-8Т. Մշակվել և հետազոտվել է պլազմային մշակման խցիկի մագնիսական դաշտի գործող արժեքի երկչափ դիտարկման համակարգ: Չափման արագագործությունը մեծացնելու նպատակով օգտագործվել է զուգահեռ չափումների մեթոդը: Մագնիսական տվիչների սեփական զգայնությունը կազմում է մոտավորապես 1.8·10-8 Տլ: A system for two-dimensional monitoring of the effective induction value of the alternating magnetic field in the horizontal plane of the plasma processing chamber is developed and investigated. In order to increase the measurement speed, the method of parallel measurement is used by sensors sensitive to the alternating magnetic field of the order 1.8∙10-8Т.

Place of publishing:

Երևան

Publisher:

ՀՀ ԳԱԱ հրատ.

Date created:

2014-10-19

Format:

pdf

Identifier:

oai:arar.sci.am:32955

Call number:

АЖ 413

Digitization:

ՀՀ ԳԱԱ Հիմնարար գիտական գրադարան

Location of original object:

ՀՀ ԳԱԱ Հիմնարար գիտական գրադարան