Система двумерной визуализации и мониторинга переменного магнитного поля

Փոփոխական մագնիսական դաշտի երկչափ արտապատկերման և դիտարկման համակարգ / Ա. Ա. Աղաջանյան, Ա. Ա. Հախումյան, Տ. Վ. Զաքարյան, Հ. Կ. Մելիքյան, Ն. Գ. Պողոսյան։ A two- dimensional visualization and monitoring system for an alternating magnetic field / A. A. Aghajanyan, A. A. Hakhoumian, T. V. Zakaryan, H. K. Melikyan, N. G. Poghosyan.

А. А. Агаджанян ; А. А. Ахумян ; Т. В. Закарян ; А. К. Меликян ; Н. Г. Погосян

Պատ․ խմբ․՝ Ա․ Գ․ Նազարով (1957-1964) ; Մ․ Վ․ Կասյան (1964-1988) ; Ռ․ Մ․ Մարտիրոսյան (1989-2017 ) ; Գլխավոր խմբ․՝ Վ․ Շ․ Մելիքյան (2018-)

Technology

плазменная обработка материалов ; индукция магнитного поля ; двумерная визуализация ; переменное магнитное поле.

395-402

Разработана и исследована система для двумерного мониторинга действующего значения индукции переменного магнитного поля в горизонтальной плоскости камеры плазменной обработки. Для увеличения скорости измерений был использован метод параллельных измерений датчиками с чувствительностью к переменному магнитному полю порядка 1.8∙10-8Т. Մշակվել և հետազոտվել է պլազմային մշակման խցիկի մագնիսական դաշտի գործող արժեքի երկչափ դիտարկման համակարգ: Չափման արագագործությունը մեծացնելու նպատակով օգտագործվել է զուգահեռ չափումների մեթոդը: Մագնիսական տվիչների սեփական զգայնությունը կազմում է մոտավորապես 1.8·10-8 Տլ: A system for two-dimensional monitoring of the effective induction value of the alternating magnetic field in the horizontal plane of the plasma processing chamber is developed and investigated. In order to increase the measurement speed, the method of parallel measurement is used by sensors sensitive to the alternating magnetic field of the order 1.8∙10-8Т.

Երևան

ՀՀ ԳԱԱ Հիմնարար գիտական գրադարան