Publication Details:
Լույս է տեսնում 1948 թվականից՝ տարին 4 անգամ։
Journal or Publication Title:
Date of publication:
Volume:
Number:
ISSN:
Official URL:
Title:
Система двумерной визуализации и мониторинга переменного магнитного поля
Other title:
Creator:
А. А. Агаджанян ; А. А. Ахумян ; Т. В. Закарян ; А. К. Меликян ; Н. Г. Погосян
Contributor(s):
Պատ․ խմբ․՝ Ա․ Գ․ Նազարով (1957-1964) ; Մ․ Վ․ Կասյան (1964-1988) ; Ռ․ Մ․ Մարտիրոսյան (1989-2017 ) ; Գլխավոր խմբ․՝ Վ․ Շ․ Մելիքյան (2018-)
Subject:
Uncontrolled Keywords:
плазменная обработка материалов ; индукция магнитного поля ; двумерная визуализация ; переменное магнитное поле.
Coverage:
Abstract:
Разработана и исследована система для двумерного мониторинга действующего значения индукции переменного магнитного поля в горизонтальной плоскости камеры плазменной обработки. Для увеличения скорости измерений был использован метод параллельных измерений датчиками с чувствительностью к переменному магнитному полю порядка 1.8∙10-8Т. Մշակվել և հետազոտվել է պլազմային մշակման խցիկի մագնիսական դաշտի գործող արժեքի երկչափ դիտարկման համակարգ: Չափման արագագործությունը մեծացնելու նպատակով օգտագործվել է զուգահեռ չափումների մեթոդը: Մագնիսական տվիչների սեփական զգայնությունը կազմում է մոտավորապես 1.8·10-8 Տլ: A system for two-dimensional monitoring of the effective induction value of the alternating magnetic field in the horizontal plane of the plasma processing chamber is developed and investigated. In order to increase the measurement speed, the method of parallel measurement is used by sensors sensitive to the alternating magnetic field of the order 1.8∙10-8Т.
Place of publishing:
Երևան
Publisher:
Date created:
Type:
Format:
Call number:
Digitization:
ՀՀ ԳԱԱ Հիմնարար գիտական գրադարան