Object structure

Publication Details:

Լույս է տեսնում 1948 թվականից՝ տարին 4 անգամ։

Journal or Publication Title:

ՀՀ ԳԱԱ և ՀՊՃՀ Տեղեկագիր. Տեխնիկական գիտություններ =Proceedings of the NAS RA and SEUA: Technical Sciences

Date of publication:

2009

Volume:

62

Number:

3

ISSN:

0002-306X

Official URL:


Title:

РЕНTГЕНОИНТЕРФЕРОМЕТРИЧЕСКОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ КРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ

Other title:

ՍԻԼԻՑԻՈՒՄԻ ԲՅՈՒՐԵՂՆԵՐԻ ՄԱԿԵՐԵՎՈՒԹԱՅԻՆ ՇԵՐՏԵՐԻ ՌԵՆՏԳԵՆԱԻՆՏԵՐՖԵՐԱՉԱՓԱԿԱՆ ՀԵՏԱԶՈՏՈՒԹՅՈՒՆԸ / Հ. Ռ. ԴՐՄԵՅԱՆ: The X-Ray Interferometrical Investigation of Surface Layers of Silicon Crystals / H. R. DRMEYAN.

Creator:

Г. Р. Дрмеян

Contributor(s):

Պատ․ խմբ․՝ Ա․ Գ․ Նազարով (1957-1964) ; Մ․ Վ․ Կասյան (1964-1988) ; Ռ․ Մ․ Մարտիրոսյան (1989-2017 ) ; Գլխավոր խմբ․՝ Վ․ Շ․ Մելիքյան (2018-)

Subject:

Technology

Uncontrolled Keywords:

наноструктура ; муар ; имплантация ; поля деформаций.

Coverage:

273-277

Abstract:

Приводятся экспериментальные и теоретические результаты исследования методом рентгенодифракционного муара полей деформаций, возникающих в блок-кристалле рентгеновского интерферометра, подвергнутого ионной имплантации, в зависимости от дозы облучения. Исследовано перераспределение напряжений, возникающих в этом блоке интерферометра при его бомбардировке.

Place of publishing:

Երևան

Publisher:

ՀՀ ԳԱԱ հրատ.

Date created:

2009-12-15

Type:

Հոդված

Format:

pdf

Call number:

АЖ 413

Digitization:

ՀՀ ԳԱԱ Հիմնարար գիտական գրադարան

Location of original object:

ՀՀ ԳԱԱ Հիմնարար գիտական գրադարան