Ստեփանյան Ա. Ս. ; Հարությունյան Վ. Մ. ; Ադամյան Զ. Ն. ; Ադամյան Ա. Զ. ; Բարխուդարյան Վ. Գ. ; Stepanyan A. S. ; Aroutiounian V. M. ; Adamyan Z. N. ; Adamyan A. Z. ; Barkhudaryan V. G. ; кварцевый резонатор ; датчик ; влажность ; компенсация ; балансный смеситель

Предложен датчик влажности на кварцевом резонаторе, который может работать в широком температурном диапазоне. Принцип работы заключается в измерении разности частот двух генераторов на кварцевых резонаторах, получаемой с помощью смесителя. Оба кварцевых резонатора (чувствительный и опорный) расположены рядом в одних и тех же условиях, благодаря чему влияние таких факторов, как температура, давление, изменения напряжения питания и т.д., взаимно компенсируются. Разность частот генераторов, таким образом, изменяется только за счет изменения относительной влажности окружающего воздуха. Описывается принцип получения чувствительного к влажности слоя на кварцевом резонаторе, приводятся измеренные зависимости отклонения частоты от влажности при разных значениях температуры. Առաջարկվում է կվարցային ռեզոնատորի հիման վրա աշխատող խոնավության տվիչ, որը կարող է աշխատել լայն ջերմաստիճանային տիրույթում։ Աշխատանքի սկզբունքը կվարցային ռեզոնատորներով երկու գեներատորների հաճախությունների տարբերության (որն ստացվում է խառնիչի միջոցով) չափումն է։ Երկու կվարցային ռեզոնատորները (զգայուն և հենքային) գտնվում են կողք-կողքի միևնույն պայմաններում, ինչի շնորհիվ այնպիսի գործոնների ազդեցությունները, ինչպիսիք են ջերմաստիճանը, ճնշումը և սնման լարման փոփոխությունները համակշռվում են։ Այսպիսով, գեներատորների հաճախությունների տարբերությունը փոփոխություններ է կրում միայն շրջապատող օդի հարաբերական խոնավության փոփոխությունների հետևանքով։ Նկարագրվում է կվարցային ռեզոնատորի վրա խոնավազգայուն շերտի ստացման սկզբունքը, բերված են տարբեր ջերմաստիճաններում հաճախությունների տարբերության կախվածությունները խոնավությունից։ The humidity sensor on the quartz crystal microbalance (QCM) working in a wide temperature range is suggested. The principle of operation is the measurement of the two QCM oscillator frequency difference obtained by using a mixer. Both QCM-s (sensitive and reference) are located in the same conditions, due to what the influences of such factors as temperature, pressure, supply voltage variations, etc., are mutually compensated. Thus, the oscillator frequency difference is changed only due to the change of the relative humidity in the surrounding air. The principle of obtaining polymer-coated QCM-s is presented. The measured dependences of the frequency deviation on humidity at different ranges of temperature are given.

Երևան

ՀՀ ԳԱԱ հրատ.

2004-12-18

Հոդված

pdf