Aluminum-doped ZnO nano-size films were grown on glass ceramic substrates by the high-frequency magnetron sputtering method. Investigations of the surface of films were carried out. Pt layer and gold interdigitated ohmic contacts were evaporated on prepared films by the ion-beam sputtering method. Sensitivity to different concentrations of hydrogen (10005000 ppm) in air was investigated. Measurements were carried in the temperature range 401000C. The glass ceramic/ZnO < Al > /Pt structure shows sufficient sensitivity to hydrogen at the pre-heating of the working body already up to 400С.

ՀՀ ԳԱԱ Հիմնարար գիտական գրադարան

Հրապարակման մանրամասներ:

Ամսագրի կամ հրապարակման վերնագիր:

Հրապարակման ամսաթիվ:

Հատոր:

Համար:

ISSN:

Պաշտոնական URL:

Վերնագիր:

Ստեղծողը:

Խորագիր:

Ծածկույթ:

Ամփոփում:

Բովանդակություն:

Հրատարակության վայրը:

Թվայնացման հովանավորը:

Ստեղծման ամսաթիվը:

Տեսակ:

Ձևաչափ:

Բնօրինակի գտնվելու վայրը: