Publication Details:
Լույս է տեսնում 1966 թվականից՝ տարին 4 անգամ։
Journal or Publication Title:
ՀՀ ԳԱԱ Տեղեկագիր: Ֆիզիկա = Proceedings of the NAS RA: Physics
Date of publication:
Volume:
Number:
ISSN:
Official URL:
Title:
Особенности фазообразования пленок Er2O3 в процессе электронно-лучевого напыления
Other title:
Features of phase formation of Er2O3 films during electron-beam evaporation
Creator:
Н. Р. Агамалян ; Р. К. Овсепян ; Е. А. Кафадарян ; Р. Б. Костанян ; С. И. Петросян ; Г. О. Ширинян ; А. Х. Абдуев ; А. Ш. Асваров
Contributor(s):
Պատ․ խմբ․՝ Գ․ Մ․ Ղարիբյան (1966-1992) ; Գլխ․ խմբ․՝ Վ․ Մ․ Հարությունյան (1993-2021) ; Կ․ Մ․ Ղամբարյան (2022-)
Subject:
Physics ; Science ; Optics; Light
Uncontrolled Keywords:
Aghamalyan N. R. ; Hovsepyan R. K. ; Kafadaryan E. A. ; Kostanyan R. B. ; Petrosyan S. I. ; Shirinyan G. H. ; Abduev A. Kh. ; Asvarov A. Sh.
Coverage:
Abstract:
Методом электронно-лучевого напыления в вакууме получены кристаллические пленки Er2O3 на подложках из сапфира и кремния. Уменьшением скорости выращивания достигнуто получение однофазной пленки оксида эрбия с кубической решеткой и преимущественной ориентацией (400).Crystalline Er2O3 films on sapphire and silicon substrates have been prepared by electron beam evaporation technique in vacuum. Preparation of a single-phase erbium oxide film with a cubic lattice and preferred (400) orientation was achieved by means of growth rate decrease.