Исследования характеристик сенсора для обнаружения низких концентраций аммиака - Алексанян, М. С.; Саюнц, А. Г.; Шахатуни, Г. А.; Арутюнян, В. М.; Шахназарян, Г. Э.
В данной работе исследованы морфология пленки Fe2O3:ZnO (60:40 мол %) и характеристики ее газочувствительнoсти к парам аммиака при различных рабочих температурах. Исследование поверхности чувствительной пленки Fe2O3:ZnO с помощью сканирующей электронной микроскопии (SEM) показало, что размер зерен в пленке равен около 50 нм. Исследуемый сенсор проявляет чувствительность к парам аммиака, начиная с температуры нагрева сен- сора 200C. В качестве рабочей выбрана температура 250C. Минимальный предел чувствительности сенсора Fe2O3:ZnO довольно низкий (~14 ppm), при такой концентрации паров аммиака сопротивление сенсора изменялось более чем в 1.5 раза. Оптимизированные параметры, характеризирующие сенсор Fe2O3: ZnO, позволят использовать эту структуру в приборах для обнаружения аммиака. Այս աշխատանքում հետազոտվել են Fe2O3:ZnO (60:40 մոլ.%) թաղանթի կազմաբանությունը և գազազգայունության բնութագրերն ամոնիակի գոլորշիների նկատմամբ աշխատանքային տարբեր ջերմաստիճաններում: Զգայուն թաղանթի մակերևույթի SEM հետազոտությունը ցույց է տվել, որ Fe2O3:ZnO թաղանթում հատիկների չափսերը մոտ 50 նմ է: Սենսորն ամոնիակի գոլորշիների նկատմամբ զգայունություն է ցուցաբերել սկսած 200C ջերմաստիճանից, իսկ որպես աշխատանքային ջերմաստիճան ընտրվել է 250C-ը: Fe2O3:ZnO սենսորի զգայունության մինիմալ շեմը բավական ցածր է (~ 14 ppm) և ամոնիակի գոլորշիների այս կոնցենտրացիայի դեպքում Fe2O3:ZnO սենսորի դիմադրությունը փոխվել է ավելի քան 1.5 անգամ: Սենսորին բանութագրվող լավարկված պարամետրերը թույլ կտան այս կառուցվածքի օգտագործումն ամոնիակ հայտնաբերող սարքավորումներում: In this work, the morphology of Fe2O3:ZnO (60:40 mol.%) film and gas sensing characteristics to ammonia vapors at different operating temperatures were investigated. The SEM investigation of the surface of sensitive film of Fe2O3:ZnO showed that the grain size in the film was about 50 nm. The sensor showed sensitivity to ammonia vapors starting at 200C and the operating temperature was chosen as 250C. The low detection limit of the sensor based on Fe2O3:ZnO is quite low (~14 ppm) and at this concentration of ammonia vapors the resistance of the sensor changed more than 1.5 times. The enhanced parameters of the Fe2O3:ZnO based sensor will allow using this structure in ammonia detecting devices.
Keywords: Химия; Фмзмка