Газофазно-плазменное осаждение фоточувствительных пленок аморфного кремния из смеси силана с закисью азота - В. М. Бейбутян; Г. Б. Ростомян; Г. А. Арутюнян (ՀԽՍՀ ԳԱ հրատ.)
Keywords: Physical Chemistry