Получение и исследование тонких пленок аморфного кремния и p-i-n структур на их основе - А. Л. Маргарян (ՀՀ ԳԱԱ հրատ.)
Разработана и собрана лабораторная установка для получения тонких пленок аморфного кремния и структур на их основе методом газофазной эпитаксии. Все рабочие процессы автоматизированы с помощью программного обеспечения в среде LabVIEW. A laboratory setup for preparation of amorphous silicon thin films and structures on their base by chemical vapor deposition (CVD) has been developed and assembled. All the operating processes were automated by software in LabVIEW media.
Keywords: Physics; Science; Chemical Physics; Radiophysics