@misc{Սարգսյան_Սարգիս_Թադևոսի_Ռադիոհաճախային, author={Սարգսյան, Սարգիս Թադևոսի}, address={Երևան}, howpublished={online}, publisher={ՀՀ ԳԱԱ}, language={hy}, abstract={Целью данной работы является исследование стабильности процесса согласования радиочастотной плазмы, что позволяет увеличить эффективность и предсказуемость процесса производства полупроводниковых приборов. The aim of this dissertation is to research the stability of the process of matching the radio-frequency originated plasma, which increases the efficiency and predictability of semiconductor devices manufacturing. To reach the stated aim, the following objectives have been set.}, type={Սեղմագիր}, title={Ռադիոհաճախային պլազմայի իմպեդանսի համաձայնեցման պրոցեսի կայունության ուսումնասիրումը}, keywords={Physics, Instruments, apparatus, components common to several branches of physics, Dissertations and Theses}, }