@misc{В._М._Бейбутян_Газофазно-плазменное,
 author={В. М. Бейбутян and Г. Б. Ростомян and Г. А. Арутюнян},
 address={Երևան},
 howpublished={online},
 publisher={ՀԽՍՀ ԳԱ հրատ.},
 type={Հոդված},
 title={Газофазно-плазменное осаждение фоточувствительных пленок аморфного кремния из смеси силана с закисью азота},
 keywords={Physical Chemistry},
}