@misc{А._К._Апоян_Легирование, author={А. К. Апоян and Г. А. Арутюнян and В. М. Бейбутян and А. Г. Гаспарян and Г. Р. Оганесян}, address={Երևան}, howpublished={online}, publisher={ՀԽՍՀ ԳԱ հրատ.}, title={Легирование парами фосфора при осаждении аморфного кремния из газовой фазы}, type={Հոդված}, keywords={Chemistry}, }