@misc{Р._В._Оганесян_Статические, author={Р. В. Оганесян and Г. Д. Хондкарян and М. С. Алексанян and В. М. Аракелян and Б. О. Семерджян and В. М. Арутюнян and Ф. В. Гаспарян}, howpublished={online}, publisher={ՀՀ ԳԱԱ հրատ.}, abstract={Методoм магнетронного распыления изготовлены тонкослойные газовые сенсоры на основе нанокомпозита In2O3·Ga2O3·SnO2 (70:20:10). Описан технологический цикл изготовления сенсоров. Исследованы низкочастотные шумы сенсоров в диапазоне частот 1–300 Гц, а также их резистивная и шумовая чувствительности при температуре рабочего тела 250ºС. Բարձրհաճախային մագնետրոնային փոշեցրման եղանակով In2O3·Ga2O3·SnO2 (70:20:10) նանոկոմպոզիտի հիման վրա պատրաստված են բարակթաղանթային գազային սենսորներ: Նկարագրված է սենսորների պատրաստման տեխնոլոգիական եղանակը: Աշխատանքային մարմնի 250ºС ջերմաստիճանում հետազոտվել են սենսորների ռեզիստիվ և աղմկային զգայնությունները, ինչպես նաև դրանց ցածրհաճախային աղմուկները հաճախությունների 1–300 Հց տիրույթում: Thin film gas sensors made of nanocomposite In2O3·Ga2O3·SnO2 (70:20:10) have been manufactured by high-frequency magnetron sputtering method. The technological cycle of sensors manufacturing processes is described. Sensitivity of the prepared sensors at the temperature of working body 250ºС and low frequency noises within the 1–300 Hz range were investigated.}, type={Հոդված}, title={Статические и шумовые характеристики нанокомпозитных газовых сенсоров}, keywords={Physics, Science, Radiophysics}, }